技術概要
本技術は、位相イメージングにおけるダイナミックレンジと検出感度を画期的に改善するものです。空間光変調器を用いて照明光または物体光を空間的に変調し、暗視野光学系で非散乱光成分を除去することで、従来困難であった微弱な位相変化や、透明サンプルの内部構造を鮮明に捉えることが可能となります。イメージセンサで記録されたホログラム情報と、空間光変調器に与えた変調パターンに基づく複素振幅情報を演算処理装置で合成することにより、高精度な位相分布を効率的に取得します。これにより、医療診断、材料科学、半導体検査など、高精度な非破壊イメージングが求められる多様な分野において、研究開発の加速や品質管理の高度化に貢献する画期的なソリューションを提供します。
メカニズム
本技術は、空間光変調器(SLM)を用いてサンプルに照射する照明光、またはサンプルを透過/反射した物体光に特定の変調パターンを適用します。これにより、光の位相情報にエンコードされたデータが生成されます。次に、暗視野光学系を通過させることで、散乱せずに直進する非散乱光成分を意図的に除去し、サンプルによる散乱光のみを抽出します。この散乱光成分がイメージセンサに到達し、ホログラムとして記録されます。最終的に、演算処理装置がSLMに与えた既知の変調パターン情報と、イメージセンサで得られたホログラム情報とをデジタル合成することにより、サンプルの正確かつ高感度な位相分布を再構築し、ダイナミックレンジと検出感度の飛躍的な向上を実現します。
権利範囲
AI評価コメント
本特許は、残存期間14年、国立大学法人出願、有力代理人関与、12の請求項、拒絶理由通知を一度で克服し登録された経緯から、減点項目が一切ないSランク評価を獲得しました。このSランクは、技術の独自性、権利の広範性、そして将来的な事業の安定性を保証する極めて強固な権利であることを示します。導入企業は、2040年2月まで独占的な市場優位性を享受し、長期的な事業戦略の要として本技術を活用できるでしょう。
| 比較項目 | 従来技術 | 本技術 |
|---|---|---|
| 高コントラスト性 | △ 非散乱光の除去が困難 | ◎ 暗視野光学系で非散乱光除去 |
| 測定ダイナミックレンジ | △ ダイナミックレンジが限定的 | ◎ 変調・合成により大幅向上 |
| 検出感度 | △ 感度が低く、微細変化を捉えにくい | ◎ 位相分布の合成で微弱信号を検出 |
| 解析精度 | △ データ処理が単純で情報が限定的 | ◎ 複素振幅情報合成で詳細解析 |
導入企業が本技術を半導体製造ラインの検査工程に適用した場合、既存の光学検査では検出困難だった微細な欠陥や応力分布を早期に発見できる可能性があります。これにより、製造プロセス終盤での不良品発生率を現状の10%から3%へ7%削減できたと仮定します。年間生産額が100億円のラインであれば、不良品による廃棄ロスを年間100億円 × 7% = 7億円削減可能。さらに、高精度化による再検査工数の削減で、検査時間全体を15%短縮し、年間検査人件費2億円の15%にあたる3,000万円の効率化が期待できます。合計で年間約7.3億円の経済効果が見込まれます。
審査タイムライン
横軸: 高精細度・解像度
縦軸: 測定ダイナミックレンジ