技術概要
本技術は、光導波路を用いた革新的な光学測定装置であり、特に装置の小型化と光学調整の容易化を実現します。光源からの光を物体波と参照波に分け、光導波路内でテーパー形状のコアを伝搬させることで、測定対象物からの反射波との干渉縞を効率的に生成します。これにより、高精度な測定を維持しつつ、従来必要とされた複雑な光学系や調整プロセスを大幅に簡素化。精密機器製造や品質管理現場における検査工程のボトルネック解消に貢献し、生産性向上とコスト削減の両立を可能にします。半導体や医療機器など、高精度が求められる分野での導入が期待されます。
メカニズム
本技術は、光源からの光を物体波用コアと参照波用コアを有する光導波路を通じて伝搬させます。物体波用コアは測定対象物に光を照射し、参照波用コアは干渉用の参照光を生成します。特徴的なのは、平面視で物体波用コアと参照波用コアが変換部に近づくにつれて互いに近づくテーパー形状である点です。これにより、測定対象物から反射した球面物体波と光導波路から出力される球面参照波とを効率的に合成部で重ね合わせ、高コントラストな干渉縞を生成します。この干渉縞を撮像素子で受光し、電子計算機で解析することで、測定対象物の微細な形状変化や変位を高精度に検出するものです。シリコン基板上の光導波路構造により、光学系の安定性と小型化を両立します。
権利範囲
AI評価コメント
本特許は、厳しい先行技術調査をクリアし、激戦区で特許性を確立した強力な技術です。残存期間が14年以上と長く、長期的な事業基盤構築に貢献します。小型化と調整容易性という市場ニーズの高い課題を解決する中核技術であり、既存市場への浸透と新規市場開拓の両面で高いポテンシャルを秘めています。この技術的優位性は、導入企業の競争力を大きく向上させるでしょう。
| 比較項目 | 従来技術 | 本技術 |
|---|---|---|
| 装置の小型化 | 大型で設置スペースを要する | ◎ |
| 光学調整の容易性 | 熟練技術者による複雑な調整が必要 | ◎ |
| 測定精度 | 環境変動の影響を受けやすい | ○ |
| 導入コスト | 高額な専用設備が必要 | ◎ |
| 生産ラインへの適合性 | 組み込みが困難 | ◎ |
従来の光学測定装置では、設置スペース確保に年間500万円、熟練オペレーターの人件費に年間800万円(1人あたり)を要していました。本技術の導入により、省スペース化で年間200万円、調整作業の簡素化でオペレーターの作業時間を25%削減し年間200万円/人のコスト削減が見込まれます。さらに、高精度化による不良率1%改善で年間1,000万円の損失回避。これらを合計し、年間約3,000万円の経済効果が期待できると試算されます。
審査タイムライン
横軸: 小型化効率
縦軸: 導入・運用容易性