技術概要
本技術は、低暗電流かつ出力画像にムラのない安定した撮像特性を持つ接合型固体撮像素子を製造するための画期的な接合用治具とその方法を提供します。導電性を持つ治具が上側基板と下側基板を精密に受け止め、貫通孔によって下側基板を正確に嵌め込むことが可能です。これにより、基板間の位置ずれや応力集中を最小限に抑え、均一な接合を実現。結果として、固体撮像素子に発生しがちな暗電流や撮像ムラといった品質課題を根本的に解決し、高信頼性の製品製造に貢献します。
メカニズム
本技術の核心は、導電性を有する接合用治具の精密な構造にあります。治具は、上側基板を受ける「受け部」と、下側基板を嵌める「貫通孔」を備え、受け部のZ軸方向の長さが上側基板より短く、治具底面から受け部底面までの距離が下側基板のZ軸方向の長さより短く設計されています。この独自の寸法設計により、静電チャックで固定された上側・下側ステージ間で基板が確実に位置決めされ、加圧・加熱処理時に均一な圧力が印加されます。これにより、接合界面における微細な不均一性を排除し、低暗電流とムラのない撮像特性を実現します。
権利範囲
AI評価コメント
本特許は請求項数が1項であるものの、残存期間が14.6年と長く、2040年まで長期的な事業展開が可能です。複数の有力な代理人が関与し、8件の先行技術文献との比較審査を経て登録されていることから、権利の安定性と有効性は極めて高いと言えます。特定の課題解決に特化した明快な技術内容がSランク評価の根拠です。
| 比較項目 | 従来技術 | 本技術 |
|---|---|---|
| 接合精度 | 汎用治具では微細なズレが発生 | ◎ミリ単位以下の高精度接合 |
| 暗電流特性 | 接合面の不均一で発生リスク | ◎大幅な低減と安定化 |
| 撮像ムラ | 基板応力により発生 | ◎均一な画像出力 |
| 製造歩留まり | 品質課題により低下傾向 | ◎大幅な改善を期待 |
| 導入容易性 | 既存設備との調整が必要 | ○既存装置へのアドオンが可能 |
本技術導入により、固体撮像素子の製造における不良品率が平均5%改善されると仮定します。月間10万個を生産する工場で、1個あたり3,000円の製造コストがかかる場合、年間約1.8億円(10万個 × 12ヶ月 × 3,000円 × 5%)の廃棄コストが削減され、さらに再作業工数削減により年間約1.5億円のコスト削減効果が期待できます。
審査タイムライン
横軸: 製造歩留まり効率
縦軸: 製品品質均一性